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碳化硅微粉的水力分級(jí)制法

點(diǎn)擊次數(shù):   更新時(shí)間:19/09/26 10:36:09     來(lái)源:www.eatyb.com 分    享:

  
  隨著碳化硅微粉近幾年的發(fā)展,碳化硅微粉憑借著展現(xiàn)自身的優(yōu)點(diǎn),在各行業(yè)、各領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,并以各項(xiàng)高、精、科學(xué)技術(shù)迅速發(fā)展。但由于行業(yè)及用戶(hù)對(duì)碳化硅微粉的品質(zhì)、純度提出了更高的要求,所以,在加工方法上不斷改進(jìn)創(chuàng)新。
  碳化硅微粉的提純,分級(jí)加工的方法,主要是以主導(dǎo)的水力精分選工藝方式,水溢流分選方式為主。生產(chǎn)出來(lái)的碳化硅微粉精分選應(yīng)用效果好,純度高,粒度分布窄,品質(zhì)穩(wěn)定。由于碳化硅微粉在冶煉及粉碎的過(guò)程中,會(huì)不可避免混入各種雜質(zhì),而這些雜質(zhì)在碳化硅微粉的使用過(guò)程中,對(duì)其所加工的碳化硅微粉的質(zhì)量和制造的半導(dǎo)體器件的性能等都有非常大的影響,增加制品的不良品率,降低加工品的表面加工質(zhì)量等等。

  碳化硅中的雜質(zhì)主要有碳、三氧化二鐵、三氧化二鋁、氧化鈣和氧化鎂以及二氧化硅等等。這些物質(zhì)在碳化硅微粉做不同的用途時(shí)分別產(chǎn)生不同的影響,其中尤其以三氧化二鐵為重。而在碳化硅的工藝流程生產(chǎn)中較多的采用加酸除雜質(zhì)的方式。這種方式的優(yōu)點(diǎn)是成本較低、除雜率高。


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